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【2h】

Pulsed digital oscillators for electrostatic MEMS

机译:用于静电mEms的脉冲数字振荡器

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摘要

This paper introduces a new actuation scheme for implementing Pulsed Digital Oscillators (PDOs) for electrostatic MEMS resonators. In this scheme, the capacitance of the device is\udbiased with a voltage and it is periodically sampled. Short pulses of zero voltage are applied depending on the decisions taken by the oscillator loop. The paper discusses in detail the implementation of such electrostatic PDO (e-PDO) through a prototype and links the e-PDO to the conventional PDO theory. As an example, it is shown that with this actuation scheme it is possible to excite different resonances of the mechanical structure simply by changing the parameters of the feedback filter of the oscillator.
机译:本文介绍了一种新的驱动方案,用于为静电MEMS谐振器实现脉冲数字振荡器(PDO)。在该方案中,设备的电容被电压偏置,并被定期采样。根据振荡器环路的决定,施加零电压的短脉冲。本文通过原型详细讨论了这种静电PDO(e-PDO)的实现,并将e-PDO与常规PDO理论联系起来。作为示例,示出了利用该致动方案,可以简单地通过改变振荡器的反馈滤波器的参数来激发机械结构的不同共振。

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